短弧灯,又名平行光曝光灯.功率主要有5000w,3000w,8000w等,用途广泛的是5000w平行曝光灯.球形高压短弧灯
英文名称是mercury xenon short arc lamps
该灯光谱范围主要在325nm~450nm之间,是在高压蒸气中产生电弧发光的短弧灯,此类灯管具有高 辐射 、多线光谱 、在紫外光区有较高的辐射能量 、寿命长、高光学质量等优点,适用于全自动曝光系
统和半导体生产光刻。
主要规格型号:日本ushio系列型号有:pc-5001cbt,pc-5001csn,pc-5001cbtl,pc-5001csnl,pc-5002rc,pc-5002ad,pc- 5001ta;pc-5000mf,pc-5000sg、pc-3500sg;、同时还有点光源平行光曝光灯:型号有:suv-1003fa;uvl-3500si;ush-5000mg,uxm-5000ta、ush-3502ma,ush-2004mb、hsa-2002-30341.............
美国orc型号有:hvf-5001cbt/r,hvf-5001csn/r,hvf-5000mfn/r,hvf-5002ad/r,
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